科學家開發出三維垂直場效應晶體管
科技日報北京6月14日電 (記者張夢然)tongguotiedianzhajijueyuantiheyuanzicengchenjiyanghuawubandaotitongdao,ribenkexuejiazhizaolesanweichuizhichangxiaoyingjingtiguan,keyonglaishengchangaomidushujucunchuqijian。ciwai,tongguoshiyongfantiediantidaititiedianti,tamenfaxiancachushujuzhixuyaohenxiaodejingdianhe,congertigaolexierudexiaolv。fabiaozai2022年IEEE矽納米電子研討會上的該項成果,將催生新的更小、更環保的數據存儲器。
在存儲器的尺寸、ronglianghekefudanxingfangmian,xiaofeileishancunqudongqiyiqudelejudadejinbu,danxindejiqixuexihedashujuyingyongchengxuzhengjixutuidongduichuangxindexuqiu。ciwai,zhichiyundeyidongshebeiheweilaidewulianwangjiedianyexuyaojienengqietijigengxiaodeneicun。erdangqiandeshancunjishuquexuyaoxiangduijiaodadedianliulaiduquhuoxierushuju。
鑒於此,東京大學工業科學研究所科學家開發了一種基於鐵電和反鐵電場效應晶體管(FET) 的概念驗證3D堆疊存儲單元,該晶體管具有原子層沉積的氧化物半導體通道。FET可以非易失性方式存儲1和0,這意味著它不需要一直供電;垂直設備結構則增加了信息密度並降低了操作能源需求。
氧(yang)化(hua)鉿(ha)和(he)氧(yang)化(hua)銦(yin)層(ceng)沉(chen)積(ji)在(zai)垂(chui)直(zhi)溝(gou)槽(cao)結(jie)構(gou)中(zhong),鐵(tie)電(dian)材(cai)料(liao)具(ju)有(you)在(zai)同(tong)一(yi)方(fang)向(xiang)排(pai)列(lie)時(shi)最(zui)穩(wen)定(ding)的(de)電(dian)偶(ou)極(ji)子(zi),鐵(tie)電(dian)氧(yang)化(hua)鉿(ha)自(zi)發(fa)地(di)使(shi)偶(ou)極(ji)子(zi)垂(chui)直(zhi)排(pai)列(lie)。信(xin)息(xi)通(tong)過(guo)鐵(tie)電(dian)層(ceng)中(zhong)的(de)極(ji)化(hua)程(cheng)度(du)存(cun)儲(chu),由(you)於(yu)電(dian)阻(zu)的(de)變(bian)化(hua),係(xi)統(tong)可(ke)以(yi)讀(du)取(qu)。另(ling)一(yi)方(fang)麵(mian),反(fan)鐵(tie)電(dian)體(ti)通(tong)常(chang)在(zai)擦(ca)除(chu)狀(zhuang)態(tai)下(xia)上(shang)下(xia)交(jiao)替(ti)偶(ou)極(ji)子(zi),這(zhe)使(shi)得(de)氧(yang)化(hua)物(wu)半(ban)導(dao)體(ti)溝(gou)道(dao)內(nei)的(de)擦(ca)除(chu)操(cao)作(zuo)變(bian)得(de)有(you)效(xiao)。
研究證實,該器件在至少1000個周期內都可保持穩定,研究人員還使用第一原理計算機模擬繪製了最穩定的表麵狀態。
研究人員稱,新方法或將極大地改善非易失性存儲器,同時有助於實現下一代消費電子產品。
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