科技日報記者 張曄

2月18日，中國科學院蘇州納米技術與納米仿生研究所納米真空互聯實驗站（Nano-X）二期項目通過總體驗收

，這為未來納米材料研究及納米器件製造提供了全新路徑與可能。

來自中國科學技術大學、中科院化學研究所、中科院蘇州醫工所、中國電子科技集團公司電子科學研究院、蘇州大學5所高校
、科研院所組成的7人專家組認為，經過兩期建設，實驗站已建成世界上規模最大、功(gong)能(neng)最(zui)齊(qi)全(quan)的(de)真(zhen)空(kong)互(hu)聯(lian)綜(zong)合(he)實(shi)驗(yan)裝(zhuang)置(zhi)
，項(xiang)目(mu)圓(yuan)滿(man)完(wan)成(cheng)了(le)項(xiang)目(mu)合(he)同(tong)書(shu)規(gui)定(ding)的(de)各(ge)項(xiang)研(yan)發(fa)任(ren)務(wu)
，達(da)到(dao)合(he)同(tong)規(gui)定(ding)的(de)各(ge)項(xiang)技(ji)術(shu)指(zhi)標(biao)，整(zheng)體(ti)水(shui)平(ping)達(da)到(dao)國(guo)際(ji)先(xian)進(jin)。

Nano-X是集材料原位生長、器件加工、測試分析為一體的材料領域重大綜合科學裝置，麵向國家戰略需求和科學前沿重大問題
，開創了一條變革性的技術路線
，將材料生長、器件工藝、測試分析通過超高真空管道有機互聯在一起，突破常規超潔淨環境下

，獨立分散設備難以實現的材料本征特性、原子級精準調控、表/界麵調控和異質集成
、器件原位製造等局限
，為國家戰略材料和前沿材料領域研究提供重要建製化、體係化支撐。

目前， 已有近40台各種大型設備通過203米長的超高真空管道互聯，建成了材料製備模塊
、微觀機理準原位分析模塊、跨尺度性能測試模塊
、氣氛可控模塊和真空互聯控製與對接係統等五大模塊平台，形成了全真空環境下的納米材料和器件研究開發的綜合實驗係統。

自2019年試運行起，實驗站累計開展合作課題651個
，服務用戶數量220多家
；服務機時80000多小時。在能源材料、低維材料、高溫超導材料等領域形成了核心研發能力
，產生了一批重要成果，初步建立了具有國際影響力的科技創新能力。