科技日報記者 張曄

2月18日，中國科學院蘇州納米技術與納米仿生研究所納米真空互聯實驗站（Nano-X）二期項目通過總體驗收，這為未來納米材料研究及納米器件製造提供了全新路徑與可能。

來自中國科學技術大學、中科院化學研究所
、中科院蘇州醫工所
、中國電子科技集團公司電子科學研究院
、蘇州大學5所高校、科研院所組成的7人專家組認為
，經過兩期建設，實驗站已建成世界上規模最大

、功gong能neng最zui齊qi全quan的de真zhen空kong互hu聯lian綜zong合he實shi驗yan裝zhuang置zhi，項xiang目mu圓yuan滿man完wan成cheng了le項xiang目mu合he同tong書shu規gui定ding的de各ge項xiang研yan發fa任ren務wu，達da到dao合he同tong規gui定ding的de各ge項xiang技ji術shu指zhi標biao
，整zheng體ti水shui平ping達da到dao國guo際ji先xian進jin。

Nano-X是集材料原位生長

、器件加工、測試分析為一體的材料領域重大綜合科學裝置，麵向國家戰略需求和科學前沿重大問題，開創了一條變革性的技術路線，將材料生長、器件工藝、測試分析通過超高真空管道有機互聯在一起
，突破常規超潔淨環境下，獨立分散設備難以實現的材料本征特性
、原子級精準調控、表/界麵調控和異質集成
、器件原位製造等局限
，為國家戰略材料和前沿材料領域研究提供重要建製化、體係化支撐。

目前
， 已有近40台各種大型設備通過203米長的超高真空管道互聯
，建成了材料製備模塊、微觀機理準原位分析模塊、跨尺度性能測試模塊、氣氛可控模塊和真空互聯控製與對接係統等五大模塊平台，形成了全真空環境下的納米材料和器件研究開發的綜合實驗係統。

自2019年試運行起，實驗站累計開展合作課題651個，服務用戶數量220多家
；服務機時80000多小時。在能源材料、低維材料、高溫超導材料等領域形成了核心研發能力
，產生了一批重要成果
，初步建立了具有國際影響力的科技創新能力。